数码物业已成为邦民经济发达的紧张引擎，而动作数码物业的基石，加工集成电途和种种微观器件的半导体装备物业，正成为备受合心的硬科技范畴。动作邦外里半导体高端装备的领先公司，中微公司迎来了火速发达机会。
中微公司的主打产物等离子体刻蚀装备和薄膜重积装备是除光刻机以外的焦点微观加工装备，具有制程步伐最众、工艺流程拓荒难度最高的特征。微观器件的络续缩小促使了器件机合和加工工艺的转移。存储器件从平面2D到立体3D架构的转换，明显晋升了等离子体刻蚀和薄膜重积工艺的合头性，相应装备的需求量大大推广。同时，光刻机因为波长的范围，更小的微观机合要靠等离子体刻蚀和薄膜重积装备的组合“二重模板”和“四重模板”工艺技巧来加工，刻蚀机和薄膜装备的紧张性和市集空间络续晋升，干系装备市集的年均匀拉长速率远高于其他品种的装备，为中微公司带来了强劲拉长动力。其它，跟着半导体工艺节点络续缩小，量检测装备需知足更高精度央浼，促使该装备市集火速拉长，已成为占半导体前道装备总市集约13%的第四大装备门类。量检测装备要紧涵盖光学量检测装备和电子束量检测装备。中微公司于2024年新提议设立了超微公司，中心拓荒电子束量检测装备等，公司将通过众种办法扩展对众门类量检测装备的市集插足和产物遮盖。
正在集成电途物业飞速发达的海潮中，中微公司站正在进步制程工艺发达的最前沿，以高端半导体装备为焦点，争持技巧的立异、产物的分歧化和学问产权守卫的基础规定。仰仗强有力的研发司将整合物业链上下逛和干系资源动作另一发力点，主动探究投资和并购，促使公司更疾发达。
估计改日五到十年，中微公司将通过自立研发以及联袂行业合营伙伴，遮盖集成电途合头范畴赶过60%的装备市集。近年来泛半导体物业的发达也尽头迅猛。三五族化合物半导体器件，如照明和显示屏所用的发光二极管、氮化镓和碳化硅功率器件等市集发达极疾。这些器件所需的MOCVD装备是紧张的合头装备。与集成电途须要许众种装备、上千步轮回的创设工艺分别，创设三五族化合物器件要紧靠MOCVD装备完毕，况且该装备的大片面市集荟萃正在中邦大陆。中微公司对准天下科技前沿，络续践行三维发达计谋，聚焦集成电途合头装备范畴，扩展正在泛半导体合头装备范畴运用并追求其他新兴范畴的时机，胀动公司完毕高速、安靖、壮健、安宁发达。公司争持以市集和客户需求为导向，主动应对繁杂景象，连接加大研发参加和生意开采力度，促使以研发立异为驱动的高质料拉长战术，捉住中心客户扩产投资时机，胀动订制化、缜密化临盆形式，公司正在刻蚀装备、薄膜重积装备、MOCVD装备等装备产物研发、市集构造、再生意投资拓展等诸众方面获得了较大的冲破和希望，产物络续获取海外里客户的认同，为公司络续壮健发达供应了有力撑持。公司同时统筹外延性发达，正在聚焦公司焦点生意集成电途装备的同时主动追求构造包含壮健范畴正在内的新事迹拉长点，子公司中微惠创、中微汇链、芯汇康及公司插足投资的标的公司正在各自细分范畴获得了鲜有成效的希望。
公司位于南昌的约14万平方米的临盆和研发基地、正在上海临港的约18万平方米的临盆和研发基地已参加运用，产能大幅晋升；上海临港滴水湖畔约10万平方米的总部大楼暨研发中央也正在利市配置；为确保往后十年有足够的厂房，并保险稠密新产物研发和产能高速拉长的需求，公司筹备将正在广州增城区及成都高新区筑制新的临盆和研发基地。（图：中微南昌临盆和研发基地项目全部航拍图）（图：上海临港临盆和研发基地项目全部航拍图）陈说期内公司络续晋升归纳角逐力，正在技巧先进、生意发达、事迹拉长、榜样统治等方面络续向邦际进步秤谌的偏向起劲，完毕公司高速、安靖、壮健、安宁发达。
公司争持自立立异，产物构造及技巧研发面向天下科技前沿。陈说期内，公司连接连结较高的研发参加，与邦外里一流客户连结合作无懈，干系装备产物研发希望利市、客户端验证境况优越，正在片面合头客户市集占领率稳步晋升。2025年上半年公司研发参加总额14.92亿元，较上年同期推广53.70%，研发参加总额占开业收入比例为30.07%。公司目前正在研项目涵盖六类装备，包蕴众个合头制程工艺的焦点装备拓荒。
公司主动插足有影响力的市集行径，络续加强公司技巧和品牌上风。陈说期内，公司阐述产物本能、技巧及贩卖供职角逐上风，络续深化同海外里客户的生意合营，以更好的市集现象和更专业的供职为客户供应产物治理计划。正在络续改观量产机台的运转岁月和临盆效劳的同时，研发团队和客户合作无懈，举办更众的合头制程工艺拓荒和验证，进一步降低产物的技巧进步性和市集角逐力，拓宽机台的临盆本事并获得更众的量产时机。
公司CCP刻蚀装备中双反响台机型PrimoD-RIE、PrimoAD-RIE、PrimoAD-RIE-e和单反响台机型PrimoHD-RIE等产物已通俗运用于邦外里一线客户的临盆线，用于高精度高采用比刻蚀e工艺的单反响台产物PrimoHD-RIE和用于超深邃宽比刻蚀工艺的PrimoUD-RIE络续获取客户订e单，此中PrimoHD-RIE正在2025年上半年累计装机赶过120个反响台，PrimoUD-RIE累计装机迫近200个反响台。截至2025年上半年，CCP刻蚀装备累计装机量赶过4500个反响台，较2024年同期拉长赶过900个反响台。此中，双反响台刻蚀产物仰仗特有计划，为成熟和进步技巧节点的客户供应了平衡的治理计划，络续获取批量订单，截至2025年上半年累计装机冲破了3300个反响台。单反响台产物近年来正在合头工艺获得络续冲破，截至2025年上半年累计装机迫近1200个反响台。公司的刻蚀产物一经对28纳米以上的绝大片面CCP刻蚀运用和28纳米及以下的大片面CCP刻蚀运用造成较为全体的遮盖。针对28纳米及以下的逻辑器件临盆中通俗采用的一体化大马士革刻蚀工艺，公司拓荒的可调动电极间距的CCP刻蚀机PrimoSD-RIE已进入邦内领先的逻辑芯片创设客户端举办验证，目前电性验证一经通过，而且正在众个客户通过了器件牢靠性的测试。PrimoSD-RIE也一经进入28纳米以下的研发线，就众项合头刻蚀工艺开映现场研发劳动。针对28纳米以下和存储器件工艺中通俗用到的晶边刻蚀，公司推出了12英寸晶边刻蚀装备PrimoHalona。该装备采器材有中微公司特有的双反响台计划，可装备最众三个双反响台，同时执掌六片晶圆，正在保障较低临盆本钱的同时，完毕更高的产出密度和临盆效劳。其它，装备腔体搭载Quadra-arm机器臂，其操控精准天真，腔体内部采用抗腐化原料计划，可抵挡卤素气体腐化，供应了更强的装备安靖性与耐久性。正在存储器件创设工艺中，公司的产物已遮盖存储器件创设中的绝大片面运用。公司针对超深邃宽比刻蚀工艺（深宽比60:1）自立拓荒的PrimoUD-RIE，该装备具有超大功率的60MHz和400kHz射频馈入，而且装备了邦际开创的主动角落阻抗调动体系，该体系具有一律自立的学问产权，目前已大范畴运用于进步的存储器件临盆线。PrimoUD-RIE正在大范畴量产场景下的牢靠性络续获得验证，各项量产目标也正在络续晋升。针对超深邃宽比工艺的改日发达趋向，公司主动构造超低温刻蚀技巧，正在超低温静电吸盘技巧和新型刻蚀气体商量上参加豪爽资源，以知足超深邃宽比刻蚀技巧迭代的需求。
陈说期内，公司的ICP刻蚀装备正在涵盖逻辑、DRAM、3DNAND、功率和电源照料、以及微电机体系等芯片和器件的50众个客户的临盆线上大范畴量产，并连接验证更众ICP刻蚀工艺。截至2025年上半年，ICP刻蚀装备累计装机量赶过1200个反响台。
陈说期内，公司NanovaLUX-Cryo正在客户端认证通过，并获得反复订单。与此同时，下一代ICP刻蚀装备PrimoNanova3G正在试验室一经结束Alpha反响腔的搭筑，正伸开反响腔体外征。
公司ICP双台机机型PrimoTwin-Star则正在海外里客户的逻辑芯片、功率器件、微型发光二极管Micro-LED、AR和VR智能眼镜用的超透镜（Metalens）等特性器件的产线上完毕量产，并获得反复订单。
陈说期内，公司8英寸和12英寸深硅刻蚀装备PrimoTSV200E、PrimoTSV300E正在晶圆级进步封装、2.5D封装和微机电体系芯片临盆线等成熟市集连接获取反复订单的同时，正在12英寸3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上获得得胜验证，并获取正在欧洲客户12英寸微机电体系芯片产线前进行机台认证的时机，这些新工艺的验证为公司PrimoTSV300E刻蚀装备拓展了新的市集。公司PrimoMenova™12寸金属刻蚀装备环球首台机利市付运邦内一家紧张集成电途研发计划及创设供职商，先导现场验证。
公司凭据客户和市集技巧发达需求，有序胀动更众进步ICP刻蚀技巧研发，为推出下一代ICP刻蚀装备举办技巧储存，以知足新一代的逻辑、DRAM和3DNAND存储等芯片创设对ICP刻蚀的需求。
陈说期内，公司用于蓝光照明的PRISMOA7、用于深紫外LED的PRISMOHiT3、用于Mini-LED显示的PRISMOUniMax等产物络续供职客户，公司络续连结邦际氮化镓基MOCVD装备市集领先位子。此中PRISMOUniMax产物自2021年6月正式颁布今后，仰仗其高产量、高波长匀称性、高良率等甜头，受到下乘客户的通俗认同，正在Mini-LED显示外延片临盆装备范畴处于邦际领先。
（图：PRISMOUniMaxMOCVD装备）公司于2023年终付运Micro-LED运用的装备样机PreciomoUdx至邦内领先客户发展临盆验证。陈说期内样机验证利市，知足客户小批量临盆央浼，并已获得客户反复订单。（图：PreciomoUdxMOCVD装备）公司紧跟市集发达趋向，主动拓展MOCVD装备的运用周围；已启动用于红黄光LED的MOCVD装备拓荒，目前拓荒希望利市，试验室测试已完毕良好的波长匀称性。陈说期内，公司已付运首台红黄光LED专用的MOCVD装备至邦内领先客户发展临盆验证。跟着电动汽车、消费电子、人工智能、风力与光伏储能和轨道交通等运用的火速发达，市集对氮化镓和碳化硅功率器件的需求暴露发生式拉长。公司正在氮化镓LED外延设备的领先上风基本上，进一步研发了面向硅基氮化镓异质外延功率器件的专用装备。公司于2022年推出了用于氮化镓功率器件临盆运用的MOCVD装备PRISMOPD5，目前已交付客户举办临盆验证，并获得了重备本能，低落客户临盆本钱，络续晋升公司正在氮化镓基MOCVD装备范畴的角逐力，并尽疾付运样机至客户端举办验证。
陈说期内，公司正在碳化硅功率器件外延临盆装备的拓荒获得较大的技巧希望，完毕了良好的工艺结果，正与众家领先客户发展商务洽说，并络续胀动样机正在邦内领先客户端发展临盆验证。
中微公司已拓荒出六款薄膜重积产物并推向市集。公司钨系列薄膜重积产物：CVD（化学气相重积）钨装备，HAR（深邃宽比）钨装备和ALD（原子层重积）钨装备，可遮盖存储器件全盘钨运用。该系列装备均已通过合头存储客户端现场验证，知足进步存储运用中全盘金属互联运用（包蕴深邃宽比金属互联运用）及三维存储器件字线运用各项本能目标，并获取客户反复量产订单。同时，公司钨系列产物也可知足进步逻辑客户钨接触孔运用本能需求，已付运机台到众个逻辑客户，验证利市胀动中，为进一步积蓄市集上风打下基本。
同期，公司拓荒出运用于进步逻辑器件的金属栅系列产物：ALD氮化钛，ALD钛铝，ALD氮化钽产物，已结束众个进步逻辑客户装备验证，正在知足进步逻辑客户本能需求的同时，装备的薄膜均一性，污染物驾御和临盆效劳均到达天下进步秤谌。该系列装备已付运到进步逻辑客户端举办验证，照准胀动利市。此中，ALD氮化钛薄膜也是进步存储器件中钨填充妨碍层和粘结层的要紧采用，公司拓荒的ALD氮化钛装备可知足进步存储器件深邃宽等到三维机合的台阶遮盖率需求及各项本能目标，并已通过众个合头存储客户的样品验证，有利于进一步扩展市集范畴。
中微公司正在现有的金属CVD和ALD装备研发基本上，同步胀动众款CVD和ALD装备拓荒，推广薄膜装备的遮盖率和市集占领率。公司的薄膜重积装备采用特有的双腔计划，每个腔体可独立举办工艺调动，保障产物本能的同时，大幅降低了临盆效劳，低落了原料本钱。装备采用中微独立自立的IP计划，确保了更优化的产物本能，也保险了产物改日的可络续迭代升级。公司EPI装备研发团队，通过基本商量和接纳合头客户的技巧反应，一经拓荒出具有自立学问产权及立异的平台，预执掌和外延反响腔,目前公司减压EPI装备已利市付运成熟制程客户举办量产验证，并一经进入进步制程工艺验证和客户验证阶段；新一代高采用比预明净腔体知足进步工艺的需求，已利市付运进步制程客户端，进入工艺验证和客户验证阶段；常压外延装备现已结束拓荒，进入工艺调试阶段；常压EPI装备已结束拓荒，进入工艺验证阶段。
子公司中微惠创愚弄分子筛的吸附道理的化学反响器，拓荒创设了工业用大型净装扮备。装备可凭据客户的央浼天真装备分别执掌范畴的体系，供应给客户牢靠、安靖、安宁和节能的净化治理计划。中微惠创与德邦DAS情况专家有限公司订立计谋合营订交后，两边继承订交实质按谋略执行，正在半导体行业尾气执掌装备范畴伸开精细的合营，目前一经临盆创设的净装扮备利市地运用正在各个客户端，配合促使环保科技行业的发达。其它，中微惠创还正在主动追求新能源范畴的干系商量。
子公司中微汇链基于众年来正在中微公司重淀的生意照料体会以及正在高科技创设范畴众家企业的数字化供职践诺体会，研发和增加数字化运营系统及产物，一心供职以集成电途为代外的高科技创设行业与行业内企业。
汇链推出的“We”系列数字化产物不光全体晋升企业从研发、创设，到质料、售后的照料本事，还助力企业融入物业生态，全体插足物业合作系统，促使本土创设物业培植更众“专精特新”和单项冠军企业。汇链还为高科技创设物业打制企业间协同互信、资源共享的生态型平台We-Linkin。目前，中微汇链产物系统已涵盖超80个场景运用、超900项微供职。
中微汇链为邦乡信通院“星火·链网”半导体骨干节点技巧配置单元、上海市工业互联网协会首批理事单元、上海及姑苏等众地中小企业数字化转型都会试点供职商、中邦物业区块链企业50强，并代外中微公司成为上海市与上海浦东新区集成电途物业数字化转型“链主”培植企业并行使整个职责；入选2025年上海”工赋软件精选101“名单；获取上海市质料照料数字化转型案例十佳案例、工赋新质-上海市工业互联网立异发达践诺案例等奖项；并插足订定《区块链供职基于区块链的去中央化标识（DID）技巧央浼》、《区块链供职数字孪生拓荒平台技巧榜样》等众项数字化范畴集体圭臬。
陈说期内，公司研发偏向和产物适合市集趋向和需求，与物业发达深度交融。各产物的研发结果均获得行业主流客户的认同，客户验证境况优越，坚固了公司产物的角逐上风。
公司位于南昌的约14万平方米的临盆和研发基地、正在上海临港的约18万平方米的临盆和研发基地已参加运用，产能大幅晋升；上海临港滴水湖畔约10万平方米的总部大楼暨研发中央也正在利市配置；为确保往后十年有足够的厂房，并保险稠密新产物研发和产能高速拉长的需求，公司筹备将正在广州增城区及成都高新区筑制新的临盆和研发基地。
公司正在需求预测、库存照料和供应商照料三方面创设了动态协和机制，使临盆所需的零部件原原料也许高效流转。公司络续拓荒合头零部件的供应商，尽头珍视零部件的邦产化劳动。公司创设了高效的库存管控系统，创立合理的库存鉴戒线，以加疾存货周转。跟着智能工场项目和精益照料的络续胀动，职员效劳和人均产能将稳步晋升，创设本钱更富角逐力。同时，公司深刻加强质料照料系统配置，巩固员工质料认识，产物德料缺陷数目呈逐年消重态势。
公司正在营运照料中采用合头目标照料，特别正在临盆照料、原料照料、客户技巧助助和装备运转涌现方面设定了一系列的合头查核目标，遮盖了质料、效劳、本钱和安宁等稠密方面。公司按期跟踪各项目标的推行境况，并凭据统计结果和客户反应，订定出合头目标的革新央浼。
陈说期内，公司营运效劳络续降低，装备交付守时率连结正在较高水准、物料本钱驾御等目标到达预期秤谌。
公司高度珍视科技立异和学问产权守卫劳动。陈说期内，公司新增专利申请130项，此中发觉专利85项。截至2025年6月30日，公司已申请3038项专利，此中发觉专利2507项；已获授权专利1901项，此中发觉专利1593项。公司慰勉立异，结构发展良好专利奖项的评选行径，着重赏赐正在产物立异方面获得卓着奏效的员工。
2025年1月9日，公司和南昌中微配合具有的发觉专利“一种化学气相重积装备及其明净法子”（专利号：ZL7.1）荣获第二十五届中邦专利奖银奖。中邦专利奖是我邦专利范畴的最高名望，由邦度学问产权局和天下学问产权结构联结主办，旨正在慰勉和颂扬专利权人和发觉人对技巧立异及经济社会发达所作出的优秀功劳。至此，中微公司已荣获中邦专利奖2项金奖、1项银奖和3项良好奖，这符号着中微公司正在技巧立异和学问产权守卫方面所获得的特出成绩。
公司视员工为最贵重的资产，极力于为员工供应广大的职业发达空间，修筑专业线、照料线发达双通道，并计划了针对分别发达阶段，包含从入职、发展到成熟，地势众样的职业筹备，拓展人才发达渠道，无论一般员工，照样高管团队均能获取充沛的发达时机。同时，公司践行“五个十大”的公司文明，打制赋能型、人性化、全员插足式的研习气氛，络续激勉员工生机，助力员工完毕自己职业理思，与企业配合发展发达。陈说期内，公司进一步拓宽人才吸引渠道，从邦外里吸引了行业体会足够的照料及技巧人才，并从著名院校中挑选了一批良好的卒业生，公司2025年上半年新入人员工278人。公司器重激勉结构和员工生机，结构发展众项深刻的专题培训、研习相易，涵盖工程技巧、计谋商务、运营照料、财会金融、人工智能和人才发达六大研习版块，有力督促造就结构须要的才干，晋升结构及职员角逐力，创设研习型结构文明气氛。公司络续优化人才绩效评估系统及人才晋升机制，使得上风资源更进一步向高绩效员工倾斜。2025年6月10日，公司向2458名勉励对象授予1000万股范围性股票。公司络续优化人才梯队，为生意可络续发达供应人才保险。
公司络续践行外延式发达战术，公司部下的中微汇链、中微惠创、芯汇康正在再生意拓展范畴获得了优越的希望，获得了市集和用户的认同。公司同时主动追求正在干系范畴的投资时机，公司诸众参股投资的公司营运涌现优越，造成了优越的物业链协同效应。
公司创设了较为完美的公司内控轨制和公司统治机合，陈说期内络续完美公司统治机制，加强危急照料和内部驾御，肃穆贯彻推行干系轨制，的确保险公司和股东的合法权柄，为企业络续壮健发达供应坚实基本。
公司肃穆坚守法令准则和拘押机构章程，肃穆推行公司音讯披露照料轨制，实正在、精确、完善、实时、平正地实施音讯披露职守，通过上市公司通告、投资者相易会、事迹阐明会、上证e互动、电话、邮件等诸众渠道，与投资者连结有用疏导，并确保音讯披露的合规。陈说期内，公司荣获“2024新财产杂志最佳上市公司”、证券时报“最受机构青睐（科创板）上市公司TOP5榜单”、中邦证券报“金牛上市公司科创奖”、证券时报“第十六届投资者相干照料天马奖”等众个奖项。
公司高度珍视内情往还防备，做好内情音讯知恋人立案照料和防备内情往还劳动。对公司董事、监事、高级照料职员及干系员工按期作出禁止内情往还的警示及教化，促使董事、监事、高级照料职员及干系知情职员肃穆实施保密职守并肃穆坚守营业股票章程。
陈说期内公司策划境况的庞大转移，以及陈说期内产生的对公司策划境况有庞大影响和估计改日会有庞大影响的事项。
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